HEIDENHAIN, ein führender Anbieter von Längen- und Winkelmessgeräten, Drehgebern, Positionsanzeigen sowie Numerischen Steuerungen, hat speziell für den Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuum konzipierte innovative Längenmessgeräte präsentiert. Bei diesen Systemen sind die verwendeten Komponenten den Anforderungen der Vakuumklasse insbesondere im Gehäuse, den Leiterplatten sowie dem Kleber angepasst worden.
Während im Grob- und Feinvakuum die Standardmessgeräte von HEIDENHAIN zum Einsatz kommen können, werden im Hoch- und Ultrahochvakuum spezielle Anforderungen an die, für die Positionieraufgaben, erforderlichen Messgeräte gestellt. Die vor allem für den Einsatz in diesem Bereich konzipierten Längenmessgeräte von HEIDENHAIN erfüllen die besonderen Anforderungen im Vakuum durch spezielle konstruktive Maßnahmen.
Diese Maßnahmen umfassen:
• Vakuumtaugliche Leiterplatten, Kleber und Beschichtungen zur Reduktion
des Ausgasens
• Entlüftete Hohlräume zur Verkürzung der Abpumpzeit
• Laserbeschriftung anstatt Aufkleber
• Temperaturbeständigkeit gegen hohe Ausheiztemperaturen
• Verzicht auf ferromagnetische Materialien für hohe Prozesssicherheit
• Spezielle vakuumtaugliche Kabel
• Spezielle Reinigung der Komponenten und Fertigung im Reinraum für
höchste Sauberkeit.
Die HEIDENHAIN-Vakuumgeräte bestehen aus Glasmaßstab, Abtastkopf und einer Anpasselektronik (APE). Als Zubehör sind Spannpratzen, Fixpunkthalter, Vakuumdurchführung, Vakuumkleber sowie Verlängerungskabel erhältlich. Anwendungen für Längen- wie auch für Winkelmessgeräte im Vakuum sind unter anderem am Elektronenstrahlmikroskop, an Manipulatoren, Mehrfach-Verstellern oder XY-Tischen, am E-Beam-Mikroskop, zur Waferinspektion in der Halbleitertechnologie oder an Spektrometer-Achsen zum Messen der Synchrotron-Strahlung.
Die Vakuumtechnik spielt bei vielen modernen Produktionsverfahren und Forschungsaufgaben eine wesentliche Rolle. So sind vakuumtechnische Verfahren in der Elektronik, der Dünnschichttechnologie, bei der Entwicklung neuer Werkstoffe, in der Biotechnik sowie in der Medizin- und Analysetechnik unverzichtbar geworden. Die Vakuumsysteme von HEIDENHAIN sind in drei Geräteausführungen – LIF 481V, LIP 481V und LIP 481U – lieferbar. Sie unterscheiden sich im Wesentlichen in der Genauigkeit, der Vakuumklasse, der Ausheiztemperatur, dem elektrischen Anschluss und der Fertigungsumgebung.
Als Vakuum wird der leere Raum bezeichnet, also ein nicht mit Luft oder einem anderen Gas gefülltes Volumen. Nach ihrer Qualität unterscheidet man die Klassen Grob-, Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum. Je weniger Luft im Raum verbleibt, umso höher ist die sogenannte Vakuumklasse. Von Grobvakuum spricht man bei einem Luftdruck bis zu 1 mbar, darunter von Feinvakuum. Unter 0,001 mbar herrscht Hochvakuum und ab 0,0000001 mbar Ultrahochvakuum.
Vakuum als luft- und somit teilchenfreier Raum ist überall dort notwendig, wo sich die Anwesenheit ‚fremder’ Teilchen störend auswirkt. Unter bestimmten Umständen müssen direkt im Vakuum-Bereich Dimensionsmessungen durchgeführt werden, zum Beispiel, wenn feinste Strukturen im Sub-Mikrometer-Bereich kontrolliert oder Teilchen zerlegt und untersucht werden sollen.
Die Traunreuter Dr. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH entwickelt und produziert Längen- und Winkelmessgeräte, Drehgeber, Positionsanzeigen und Numerische Steuerungen. Zu den Kunden gehören Hersteller von Werkzeugmaschinen sowie von automatisierten Anlagen und Maschinen, insbesondere für die Halbleiter- und Elektronik-Fertigung.
Messtechnische Kompetenz auf dem Gebiet der Längen- und Winkelmessung beweisen die zahlreichen speziell auf den Anwender zugeschnittenen Lösungen. Dazu zählen insbesondere die für viele Standard-Labors der Welt entwickelten und gebauten Mess- und Prüfgeräte ebenso wie die Winkelmessgeräte für verschiedene Teleskope und Satelliten-Empfangsantennen. Der hohe HEIDENHAIN-Qualitätsstandard dokumentiert sich in der Zertifizierung nach dem Qualitätsmanagement DIN ISO 9001 und der Zulassung als DKD-Prüfstelle für die Messgrößen Länge und Winkel.
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