Hohe Genauigkeit
Hohe Wiederholgenauigkeit
Wiederholbarkeit typischerweise < 0,03 µm bei 12 mm Messweg
Zerodur Maßstab
Betätigung über Drahtabheber
Kugellagerführung
± 0,2 µm
MT 1200: < 0,03 µm
MT 2500: < 0,09 µm
± 0,5 µm Systemgenauigkeit
Wiederholbarkeit typischerweise < 0,04 µm bei 100 mm Messweg
Große Messwege
Kugellagerführung mit geringer Reibung
± 0,5 µm
MT 60: < 0,06 µm
MT 101: < 0,04 µm